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CZ硅拋光片
所屬分類
產(chǎn)品分類:硅片系列
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產(chǎn)品編號(hào)
數(shù)量
-
+
庫(kù)存:
0
產(chǎn)品描述
參數(shù)
直徑(mm) | 76.2-150 |
直徑公差(mm) | X±0.3可根據(jù)客戶要求調(diào)整 |
導(dǎo)電類型/摻雜劑 | N型/Ph/As/Sb、P型/B |
晶向 | <111>、<100> |
電阻率范圍(Ω.cm) | 0.001-60 |
徑向電阻率變化(%) | N型≤18% P型≤10% |
氧含量(at cm-3 ) | ≤1×1018 |
碳含量(at cm-3 ) | ≤5×1016 |
厚度及公差(um) | 根據(jù)客戶要求 |
顆粒度 | 根據(jù)客戶要求 |
其他參數(shù) | 按SEMI標(biāo)準(zhǔn)或客戶要求 |
表面狀態(tài) | 單面拋光或雙面拋光 |
關(guān)鍵詞::
CZ硅拋光片
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