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CZ/MCZ硅研磨片

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產(chǎn)品編號
數(shù)量
-
+
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0
產(chǎn)品描述
參數(shù)

直徑(mm)

76.2-150

直徑公差(mm)

X±0.2

導(dǎo)電類型/摻雜劑

N型/Ph、P型/B

晶向

<111> 、<100>

電阻率范圍(Ω.cm)

0.001-60

徑向電阻率變化(%)

N型＜18%  P型≤10%

氧含量(at cm-3 )

≤1×1018

碳含量(at cm-3 )

≤5×1016

厚度及公差(um)

根據(jù)客戶要求

其他參數(shù)

按SEMI標準或客戶要求

 

CZ/MCZ硅研磨片

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CZ/MCZ硅研磨片
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